［摘 要］ 針對油田井口液位監測應用需求以及無源無線法蘭式液位變送器在井口液位監測中需解決的問題，設計了差動結構傳感器，并采用 FEM/BEM 方法優化了傳感器溫度特性，保證了傳感器在不同溫度下工作的可靠性；采用背部受壓封裝形式，通過設計多層封裝，解決了傳感器引線問題，低成本地實現了高量程下的液位測量，并保證了一定的液位傳感靈敏度；通過設計保護結構，使傳感器適應復雜的測量介質；#終實現了基于聲表面波技術的無源無線油田井口法蘭式液位變送器。

1 引 言

法蘭式液位變送器是工業生產和過程控制中極其重要的一種常用傳感器，在石油石化行業有著廣泛的應用。 為了有效控制石油生產質量，井口液位是必須的監測量，法蘭式液位變送器在該方面的應用也經歷了從機械式液位計人工讀表， 電子式液位表直至液位變送器自動采集的發展過程， 但目前仍然有大部分采油井由于歷史原因，沒有預埋傳感器和線纜，不具備自動采集改造的條件或改造代價過大。 針對這一情況，無線法蘭式液位變送器成為井口液位自動化采集的一個主要發展趨勢。 目前主流應用的井口無線法蘭式液位變送器，主要依靠傳統液位變送器和無線模塊、電池的組合來實現無線液位傳感，優點是技術成熟，檢測結果可靠，但是由于使用電池進行供電，其采集頻率無法進一步提升（一般為 10 至 20分鐘采集一次）， 尚無法達到中石油 A11 標準建議的 15 秒采集一次。 另一方面，出于安全防爆的考慮，也無法一味增加電池容量。 對監測的動態性以及進一步通過物聯網大數據實現高價值應用造成了瓶頸。

無源無線傳感技術是近年發展起來的一種新型傳感技術，其#大的優勢在于傳感器一側無須任何的電池供電， 因此如果傳感器本身不發生損壞，就無須考慮電池壽命等附加問題，同時其采集頻次也不再受到電池容量的限制， 并且在防爆環境中極易實現本質安全。 實現無源無線傳感的一種重要方法是聲表面波（Surface Acoustic Wave ， SAW ）傳感技術 ［ 1 ］ 。 目前，聲表面波無源無線溫度傳感器已經廣泛應用于高壓開關柜、電纜接頭、高壓斷路器等電力設備測溫系統 ［ 2－4 ］ 。 雖然無線無源溫度傳感器在電力行業獲得了比較成功的應用，其他類型的無源無線傳感器，特別是無源無線法蘭式液位變送器的工業應用仍然非常缺乏， 主要原因是大部分研究機構的精力主要集中在胎壓傳感器上， 法蘭式液位變送器的量程大多小于 1MPa ，無法滿足大部分工業領域的需求（如井口油壓大多要求 2MPa～6MPa ）， 而國內研究的法蘭式液位變送器大部分量程范圍僅在幾百千帕 ［ 5-6 ］ ；另一方面，這些傳感器的外形封裝和接口也無法滿足工業接口的要求。 針對這些應用現狀，本文設計了差動結構傳感器， 并采用 FEM／BEM 方法優化了傳感器溫度特性，保證了傳感器在不同溫度下工作的可靠性；采用背部受壓封裝形式，通過設計多層封裝，解決了傳感器引線問題，低成本地實現了高量程下的液位測量， 并保證了一定的液位傳感靈敏度；通過設計保護結構，使傳感器適應復雜的測量介質；#終實現了基于聲表面波技術的無源無線油田井口法蘭式液位變送器。

2 基本工作原理和系統總體設計

無源無線油田井口液位監測系統， 主要由無源無線油田井口法蘭式液位變送器和閱讀裝置組成。 閱讀裝置和無源無線傳感器之間通過無線鏈路完成井口液位信息的傳感， 閱讀裝置解析相關信息并可通過 LORA 等傳輸技術將數據遠傳至監測平臺。

無源無線傳感器不需要電池， 其核心技術是 SAW 諧振器，該技術的原理如圖 1 所示， 閱讀器通過閱讀器天線發射窄帶電磁波，該電磁波被傳感器天線接收，激勵由壓電工藝制作的單端口 SAW 諧振器，通過逆壓電效應，叉指換能器（ IDT ）將傳感器天線接收的電磁波轉換為 SAW 。 單端口聲表面波諧振器的實際諧振頻率則由諧振腔的結構以及基片所處的環境影響決定 （如被測物處的溫度、應變等）。 當激勵消失之后，帶內各頻率分量的聲表面波會以不同的時間常數自由衰減振蕩， 只有頻率與 SAWR固有諧振頻率相同的電磁波持續時間#長。 IDT 通過壓電效應將SAW 再次轉化為電磁波并由天線輻射出來。 閱讀器接收被測量影響的衰減振蕩電磁波后估計出其諧振頻率， 可實現相關傳感量的無線測量。

如引言所述，在系統中主要的難點是法蘭式液位變送器的設計，在傳感器的設計主要解決了如下問題：（ 1 ）傳感器需要工作在不同的介質溫度下， 為了傳感器的可靠工作， 設計了差動傳感器結構，并優化了傳感器的溫度特性；（ 2 ）傳感器的封裝，為滿足液位量程和靈敏度的需要， 設計了全新的傳感器封裝形式和引線方法，同時為滿足油田實際使用中的復雜介質成分，設計了隔離保護結構，保證傳感器的有效長期工作。 設計的法蘭式液位變送器實物如圖 2 所示。

3 SAW 敏感器件溫度特性優化

油井井口的介質溫度并不恒定，如第 1 節 SAW 的工作原理所述，如果僅以單個 SAW 諧振器進行液位測量，則諧振頻率必然會受到介質不同工作的影響，導致液位測量結果失真，同時現場還存在其他干擾， 僅憑簡單的溫壓聯合標定和后期溫度補償無法消除這些影響。 為此，每個 SAW 傳感器均采用兩個諧振器組成差動結構，兩個諧振器布置在基片上的不同位置，并具有相同的溫度特性， 將兩個諧振器之間的頻率差值作為液位測量的依據， 從而抵消溫度和其他干擾的影響。 如圖 3 所示為差動式SAW 傳感器實物基片。

由于傳感器工作的溫度范圍較寬， 如果隨意設計傳感器的溫度特性，雖然依然能夠抵消溫度特性的影響，但是由于溫度引起的頻率變化如果過大， 將會超出閱讀裝置的允許采集帶寬以及天線的可用帶寬，從而導致無法解析數據，同時過大的傳感器占用帶寬不利于頻譜資源的有效利用。 鑒于此，需要對敏感元件的溫度特性進行優化， 優化的目標是在主要溫度段內 （ －40℃～85℃ ）獲得盡量小的頻率變化，并在高溫段具有負的溫度系數以便匹配天線在高溫下的頻率漂移。 SAW 傳感器的溫度特性主要由基片切型、 電極材料以及器件拓撲結構決定， 我們采用有限元 ／ 邊界元（ FEM／BEM ）方法結合廣義格林函數，可精que計算完整器件的溫度特性。 我們使用該方法計算了不同石英切型下的溫度系數，其結果如圖 4 所示。

根據不同石英切型的溫度系數，我們優化地選擇了 AT 切石英（0 ， 126° ， 0° ），其頻率隨溫度變化的曲線如圖 5 所示，該切型在主要工作溫度段（ －40℃～85℃ ）內具有較小的頻率漂移，在 －40℃～40℃ 范圍內總頻率變化小于 100ppm ， 并且在高溫段時具有負溫度系數，可以很好地和天線的頻率變化匹配。 如圖 5 所示為傳感器的溫度特性。

4 傳感器封裝設計

目前研究的聲表面波無源無線法蘭式液位變送器出于密封和保護SAW 基片的考慮， 大多采取懸臂梁或簡支梁結構安放 SAW 基片，并通過頂針結構將外部液位傳導到基片上。 這種方式容易獲得較大的液位靈敏度，但是由于應力集中的影響，其量程受到很大的限制。背部受壓的封裝方式可使 SAW 基片直接接觸液位源，不需要額外的液位傳導機構，其受力方式為均勻受壓，沒有明顯的應力集中，容易實現較大的測量量程，且由于 SAW 傳感器含有器件的一面被封裝在內部，天然形成了保護結構，從而無須額外的導力機構，非常適合油田井口的應用需求。

但是背部受壓結構中， SAW 器件的引線是一個較難解決的問題，如果采用一般的工藝和結構，需要將 SAW 器件在與封裝引腳已有連接線的情況下倒扣過來進行裝配， 這勢必導致兩個嚴重的問題：（ 1 ）連接引線需要很長，以便能夠翻轉 SAW 基片，從而造成裝配完成的傳感器的抗振性能很差， 連接線極易在運輸過程中損壞；（ 2 ）由于需要翻轉 SAW 基片，因此基片和基座間的粘接位置很難控制，導致傳感器的一致性很差，操作難度高，難以標準化并影響成品率。

針對此問題，我們設計了一種多層轉接引線方法，其結構如圖 6 所示，該引線方法采用兩片陶瓷片，一片為器件陶瓷片，另一片為引腳陶瓷片，兩片陶瓷片上均蝕刻有金屬的轉接焊盤。 裝配時先將 SAW 器件粘接在器件陶瓷片上，并將引線連接至轉接焊盤，同樣將引腳通過引線連接至引腳陶瓷片的轉接焊盤上。 然后將兩片陶瓷片轉接焊盤相對，通過回流焊接在一起，并將邊緣密封。 通過這種引線方法，同時解決了引線過長和基片粘接一致性的問題，從而實現背部受壓封裝方式的標準化裝配，保證了傳感器的量程。

在油田的實際應用環境中，井口的測量介質比較復雜，并且含有一些顆粒雜質，長期使用過程中可能會對 SAW 器件造成一定的損害，因此我們在 SAW 器件和介質之間增加了一段隔離保護結構，更好地保證傳感器的長期可靠工作，傳感器封裝的整體結構和實物分別如圖 7 和圖 8 所示。

5 測試與應用

基于 Druck PACE6000 標準液位源，我們對傳感器的靈敏度進行了測試，其結果如圖 9 所示，綜合靈敏度約為 60KHz／MPa ，且具有較好的線性度，滿足我們的設計要求。

我們將此無源無線法蘭式液位變送器送至中國航天上海精密計量測試研究所進行實際液位傳感測試， 測試結果如圖 10 所示，在大部分測試點上的誤差小于 0．1MPa ，綜合誤差小于 ±0．1MPa 。

在新疆油田某廠區也對本文所述無源無線法蘭式液位變送器進行了實際應用，數據通過 Lora 技術傳輸至監控平臺，傳感器運行狀況良好，數據穩定。

6 結 論

本文針對油田井口液位監測應用需求以及無源無線法蘭式液位變送器在井口液位監測中需解決的問題，設計了差動結構傳感器，并采用 FEM／BEM 方法優化了傳感器溫度特性， 保證了傳感器在不同溫度下工作的可靠性；采用背部受壓封裝形式，通過設計多層封裝，解決了傳感器引線問題，低成本地實現了高量程下的液位測量，并保證了一定的液位傳感靈敏度（約 60KHz／MPa，量程超過 3．5MPa ）；通過設計保護結構，使傳感器適應復雜的測量介質； 通過測試和實際應用證明了該傳感器可滿足油田井口液位監測的實際需要， 對于推進數字化油田和油田物聯網建設具有重大意義。